仪器是基于全反射X射线荧光光谱技术(TXRF)，它通过使用高亮度微焦斑固定靶点光源产生一道X光束，并利用真空正交背靠背X射线人工多层反射聚焦镜，对X射线二次反射，将光束的能量范围缩减至非常窄，这道非常细的光束会以极小的角度(小于0.1°）照射在一个平整的样品载体上，并且完全被反射出来，而样品会发出特征荧光，并通过能量色散型X光探测器进行测量，由于探测器与样品载体的距离很短，因此荧光的探测效率非常高，还降低了空气对X光的吸收。

TXRF与传统XRF光谱仪的主要区别在于其使用了单一波长的辐射和全反射式的光学设计，使用全反射式光束照射样品，可以减少光束在样品本体中的吸收和散射，显著提高荧光效率、减少大部分背景噪声，从而使含量非常低的元素具有更高的检测灵敏度。