电子器件

针对各类分立器件、被动元件及组装后的电子元器件，扫描电镜常用于失效分析与质量控制。通过高分辨率成像可识别金属化层的断路、短路、桥接等微细缺陷，结合电压衬度成像模式可诊断CMOS电路中的闩锁效应及PN结漏电路径；对于热敏电阻、铁电材料、钝化层等，还可观察晶粒尺寸、颗粒分布及微观结构，为器件性能优化和制备工艺改进提供依据。